Photolithography

Photolithography is technique that allows the creation of masks through the computer-controlled direct writing. The pattern is projected on the photoresin. The expose photoresin is removed to obtain the mask.

Plasma cleaner

Plasma cleaning is a technique that removes impurities and contaminants from surfaces using plasma originated from gas. Gases like argon or oxygen, and mixtures of them are used. The properties of surfaces can be modified with etching, activation, precision cleaning and surface polymerization. 

Ellipsometer

Spectroscopic ellipsometry is useful for determining the thickness of thin films and optical constants of materials (refraction index, extinction coefficient). A non-destructive optical characterization technique which is based in the  light polarization phase change when it contacts a material.

The optical platform GES5E has different characterization systems, from standard ellipsometry to general ellipsometry, going through photometric measurements (in transmission and reflexion). All measurements are done automatically considering:  wave length, incidence angle, polarization and time. The spectral range is 230-900 nm.

Profilometer

The profilometer P-16+ is a system form the surface metrology characterization used in a wide range of industrial applications and processes. The precise control of the strength of this surface analysis provides excellent vertical resolution measures . The equipment offers automatic analysis of step height, surface contour, waviness and roughness  with detailed 2D or 3D analysis of topography for a variety of surfaces and materials.

Atomic layer deposition(ALD)

ALD offers an accurate control of the chemical phase deposition of thin films, to the atomic scale.  This technique is recognised for the high quality of the films. The principle of ALD is based on sequential pulsing of special precursor vapours, each of which forms about one atomic layer on each pulse. Cambridge Nanotech systems are designed to deposit pinhole free coatings that are perfectly uniform in thickness, even deep inside pores, trenches and cavities.

Infrared spectroscopy

Infrared (IR) spectroscopy makes use of the interaction  of infrared radiation with matter. It can be used to identify and study chemical compounds. Vertex 70 is a fully digital FT-IR spectometer designed for the signal acquisition from the far IR region to the visible region. Thie equipment can do two types of measurements over the samples: absorbance and reflexion.

Reactive ion etching (RIE)

RIE allows anisotropic etching of several materials. It is a system capable of reaching a base pressure of less than 10^-6 Torr. This low base pressure provides a clean etching environment and a highly anisotropic etching. The RIE 2000 is equipped with Oxygen (O₂), argon (Ar) and tetrafluoromethane (CF₄) gases together with mixtures of oxygen and tetrafluoromethane.  

Evaporador

La técnica de deposición por evaporación térmica en vacío consite en la evaporación del material que se pretende depositar. La evaporación se lleva a cabo calentando, mediante una resistencia (efecto Joule), el material, a presiones del orden de 10^-6 a 10^-5 Torr. El vapor del material termina condensándose en forma de lámina delgada sobre la superfície fría del sustrato. Esta técnica permite recubrimientos muy homogéneos de oro (Au), cromo (Cr), aluminio (Al), titanio (Ti) y plata (Ag), entre otros, así como sus mezclas. El equipo de evaporación térmica trabaja en alto vacío y permite el movimiento rotatorio de la muestra.

Ion Milling

Ion Milling es una técnica de grabado físico mediante la cual, los iones de un gas inerte (típicamente Ar) se aceleran desde una fuente de iones de haz amplio hacia la superficie de un sustrato ( o sustrato recubierto) en vacío, para eliminar el material a una profundidad o capa inferior deseada.

Pulverización Catódica (Sputtering)

La pulverización catódica es una técnica de deposición de películas delgadas por fase de vapor. Ese proceso físico consta en la vaporización de los átomos de un material sólido denominado "blanco" mediante el bombardeo de éste por iones energéticos. Actualmente es posible depositar oro (Au), platino (Pt), plata (Ag) y Cobre (Cu).

Ángulo de Contacto

Este sistema permite determinar el ángulo de contacto y la tensión superficial de un líquido en contacto con una superficie por medio de un sistema automático de deposición y de un software con la posibilidad de aplicar diferentes modelos matemáticos. Es posible la medición de ángulos de contacto en estático y dinámico, así como la medición de la tensión superficial.

Reómetro

El reómetro permite mediciones reológicas (viscosidad en estado estable, G' y G'' en régimen oscilatorio, relajación en función del estrés o velocidad, módulo de Young, etc.) en fluidos de interés para la industria metalúrgica, farmacéutica, téxtil, química o alimentaria, entre otras. El equipo puede mover el motor en ambas direcciones, diferenciándose de un viscómetro y permitiendo  trabajar en modo CR ( control de la velocidad) o en modo CS ( control de la fuerza).